تطبيق مضخات التفريغ في تقطيع وتغليف رقائق أشباه الموصلات

في الجزء الخلفي من-صناعة أشباه الموصلات، يجب تقطيع الرقائق إلى شرائح فردية ثم تعبئتها. تلعب تقنية الفراغ دورًا حاسمًا في هذه العملية.

تقطيع الويفر

أثناء عملية التقطيع، يتم امتصاص الرقاقة بقوة على ظرف آلة التقطيع. يوفر نظام المضخة الفراغية-عالي الدقة قوة امتصاص ثابتة وموحدة، مما يضمن عدم تحرك الرقاقة الرقيقة والهشة للغاية-أو اهتزازها أثناء القطع-بسرعة عالية. يعد هذا أمرًا ضروريًا للحفاظ على دقة التقطيع، ومنع تقطيع الرقائق أو تكسيرها، وتحسين الناتج النهائي بشكل مباشر.

يموت إرفاق

في خطوة ربط القالب من عملية التعبئة والتغليف، تستخدم فوهات التفريغ الشفط الفراغي لالتقاط القوالب الفردية المنفصلة بدقة ووضعها بدقة على إطار الرصاص أو الركيزة. الاستجابة السريعة وقوة الإمساك المستقرة التي توفرها مضخة التفريغ تضمن التشغيل الدقيق والفعال، مما يمنع تلف الرقائق أو وضعها في غير موضعها.

المتطلبات الفنية

يتطلب سيناريو التطبيق هذا أن تتمتع مضخة التفريغ بموثوقية عالية، وأن تكون خالية من الزيت-(لمنع تلوث أسطح الرقائق الحساسة)، وأن تكون ذات اهتزاز منخفض، وتحافظ على سرعة ضخ ثابتة ومستوى تفريغ نهائي.

 

page-1280-720